半導体製造装置での実績多数！トップメーカーも採用！
スカラロボット（水平多関節ロボット）のアーム駆動にはタイミングベルト、ダイレクトモーター、アクチュエーター等の方式が採用されています。 これらは大気環境であれば問題ありませんが、真空環境ではそうはいきません。 問題その１ 温度上昇のリスク 真空では数百℃の熱がかかる環境になることもあります。 問題その２ アウトガスのリスク アウトガス（部品に残っていた水分や気体が放出されたガス）はワーク汚染、機器の動作不良などの原因になります。 ステンレスのスチールベルトはこれらの問題に対応できる数少ないアイテムです。 実際に真空対応のスカラロボットにはスチールベルトが採用されています。
