半導体装置の純水・薬液の流量管理に！配管を切断する必要のないクランプオン式センサ採用
当社で取り扱う、超音波小型液体流量計『SLF-100』を ご紹介いたします。 配管を切断する必要のないクランプオン式センサを採用。 コンパクト設計で低消費電力、広いレンジアビリティーが 特長です。 半導体装置の純水・薬液の流量管理にお使いいただけます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【変換器の仕様(一部)】 ■型式：SLF-100 ■測定原理：超音波伝播時間差演算方式 ■環境条件：温度 -10～50℃ ■表示部 ・LCD表示器(16文字×2行) ・積算流量または瞬間流量 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【センサの仕様(一部)】 ■型式：SLT-12、14、15型 ■構造：クランプオン式 ■材質：PVC、PTFE ■測定対象：純水、薬液(別途ご相談) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体装置の純水・薬液の流量管理 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
超音波計測技術を核とした、気象観測機器・海象観測機器・液体流量計・気体流量計・界面計・魚群探知機などを開発、製造しています。