半導体装置の純水・薬液の流量管理に！配管を切断する必要のないクランプオン式センサ採用
当社で取り扱う、超音波小型液体流量計『SLF-100』を ご紹介いたします。 配管を切断する必要のないクランプオン式センサを採用。 コンパクト設計で低消費電力、広いレンジアビリティーが 特長です。 半導体装置の純水・薬液の流量管理にお使いいただけます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【変換器の仕様(一部)】 ■型式：SLF-100 ■測定原理：超音波伝播時間差演算方式 ■環境条件：温度 -10～50℃ ■表示部 ・LCD表示器(16文字×2行) ・積算流量または瞬間流量 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
