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【分析事例】XPSによるSn表面の状態評価

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最終更新日:2025年03月13日

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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価数別(2価、4価)の割合を算出することが可能です

スズメッキ、はんだ等、Sn(錫)は多くの電子部品に使用されています。 Sn表面のXPS分析では、通常評価に用いる3d軌道による定量・状態分析と併せ、4d軌道を用いることで酸化数(2価Sn2+(SnO)、4価Sn4+(SnO2))を分離し、割合を算出することが可能です。また、価電子帯をみることで低価数状態(2価Sn2+(SnO))が極僅かな場合でも敏感に検知することができます。 本資料では、はんだ表面について各軌道を用いてSnの評価を行った例を紹介します。

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【分析事例】XPSによるSn表面の状態評価

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測定法:XPS 製品分野:酸化物半導体、電子部品 分析目的:化学結合状態評価・電子状態評価

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