ナノ精度位置決めステージ標準モデル4機種 / カスタム対応可能
HIWIN ハイウィン ナノ精度位置決めステージ ナノ精度ポジショニングステージ N2 リニアモーターステージ ナノメートル
ウエハ白色干渉測定、PLP検査、LDI露光機、ウエハ光学検査対応標準モデルをラインアップ
半導体製造の後工程の技術躍進が進む後工程でご活用いただける ナノ精度の位置決めリニアモーターステージです。 技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に。 標準機投入によりお客様の開発期間を短縮させるソリューションを提供します。 当社では自社製コンポーネントを幅広くそろえており、各部材、技術者をすべて社内で確保できるため、 他社では真似できない設計納期、生産納期を実現します。 <機械要素部品><メカトロ製品><制御技術>の 3 つの要素を備えており、 標準機だけでなくカスタム対応にも柔軟かつ迅速に対応ができます。
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基本情報
■ウエハ白色干渉測定モデル 12インチウエハ測定装置に適用。 サーボ安定性が高く、高倍率の視覚測に。 短納期対応。 ■ PLP検査 モデル エアベアリングとリニアガイドウェイのハイブリッド構造で、 高精度と高剛性を兼ね備えています。短納期対応。 ■LDI 露光機 モデル ハイグレードなエアベアリングステージ。 動的安定性と動的精度が高く、 安定して高い精度を維持できます。 ■ウエハ光学検査装置 8 インチウエハの検査やAOI装置に適用。 短納期で安定性の高い汎用ステージです。
価格情報
○ 詳細はお問合せください。
納期
用途／実績例
ウエハ測定装置、ウエハ検査、AOI検査、PLP検査、LDI露光機など
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ウエハ白色干渉測定モデル | |
| PLP検査 モデル | |
| LDI 露光機 | |
| ウエハ光学検査装置 |
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この製品に関するニュース（2）
企業情報
HIWIN（ハイウィン）は台湾、台中に本社（資本金約160億円、従業員約6,400名）を置き、日本以外にドイツ、アメリカなど、世界12か国に拠点を置くグローバル企業です。世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様化する顧客ニーズに対応するために製品開発に注力し、世界有数の工作機メーカー、自動車メーカー、半導体および製造装置メーカーへの納入実績を積み上げ、優良パートナー企業へと躍進しています。（ISO9001, ISO14001, ISO45001認証取得） また、機械要素部品だけでなくメカトロ製品を幅広く開発製造し、単なる部品メーカーの範囲にとどまらないソリューションを幅広い産業に提供します。 1999年設立の日本法人、ハイウィン株式会社は本社を兵庫県神戸市に構え、日本全国10都市に営業拠点を配置。2022年、神戸市内約7500坪の敷地に研究開発機能を備えた本社工場を設立いたしました。 今後、当社は各領域において専門性を発揮し、価値ある製品の製造・開発を通じ、お客様に最適なソリューションの提供に向けて全力を尽くすことで、「次世代ものづくりを支える」企業として日本の産業発展に貢献します。
