【半導体製造装置向け】静音・高信頼性 電磁アクチュエーター
SC無音ソレノイド SLシリーズ（ロータリーソレノイド）、SDシリーズ（直線ソレノイド）、VMシリーズ（ボイスコイルモーター）
小型・軽量・長寿命！耐熱・低アウトガス・静音・低発塵性を兼ね備え、 特殊環境下でも安定駆動を実現する電磁アクチュエーター！
半導体製造装置において、高精度な位置決めや静音性は極めて重要な要素です。 しかし、従来のソレノイドは動作音や振動が大きく、クリーンルーム環境下での使用においては発塵やアウトガスなどの問題もあり、導入が難しい場面がありました。 弊社の「SC無音ソレノイド」は、これらの課題を解決するために開発された高性能電磁アクチュエーターです。 静音・低振動で動作し、アウトガスや発塵を最小限に抑え、真空・高温・振動といった過酷な環境下でも安定稼働が可能です。 【活用シーン】 ■半導体製造装置：ウェハ搬送、ステージ移動、部品実装など高精度な位置決めが求められる工程 ■軽量化による装置の高速動作・応答性向上 ■クリーンルーム内での低発塵・低アウトガスな駆動部としての活用 【導入の効果】 ■クリーンルーム環境の維持：低騒音・低振動・低発塵により環境負荷を軽減 ■歩留まりの向上：高精度位置決めにより製品品質を安定化 ■生産性向上：高速・安定動作により製造工程の効率化を実現 ■長寿命設計によりメンテナンス頻度・コストを削減 ■過酷な環境（真空・高温・振動）下でも確実に稼働する堅牢性
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基本情報
【要求仕様】 ・小型・小質量 ・長寿命（超寿命） ・高速応答 ・低発塵・低アウトガス性 ・高堅牢性 ・特殊環境（真空、高温、振動）での高信頼動作 当社の強み 株式会社エスクラフトは、開発・設計・製造・アフターサービスまで一貫して行うことで、お客様のニーズに適したソリューションを提供いたします。 経験豊富なエキスパートエンジニアが、お客様の課題解決に貢献いたします。 ※詳細はPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせお問い合わせください。
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