±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定します！
『TOMOS-50/60/80/XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 電動制御及び自動計測となっており、両面露光パターンズレや 半導体ウエハー、4インチ、6インチ、8インチウエハー、MEMS、 水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、観察に利用可能。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正します。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能です。 【特長】 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定 ■表裏2chオートフォーカスユニット組み合わせ可能(オプション) ■電動XYステージ制御システム開発中 ■装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
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基本情報
【仕様(一部)】 ■対物レンズ：5、10、20、50倍から選択 ■粗微動調整：正立、倒立(手動) ■XY稼働範囲：150mm×150mm ■ソフト機能 ・表裏光軸補正機能 ・表裏同時撮影、ファイリング ・表裏合成表示 ・表裏寸法手動計測 ・表裏寸法自動計測(オプション) ・表裏位置ずれ手動計測 ・表裏位置ずれ自動計測(オプション) ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■ウエハー/MEMS/水晶振動子などのアライメントマーク位置ずれ計測 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
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企業情報
当社は「見る・視る・観る・診る」の総合ソリューションカンパニーです。 新しい技術と大胆な発想で実現する映像・光学機器の開発製造から システム構築まで行っております。 業務用のデジタルカメラおよび映像関連システムの開発・製造・販売は 当社にお任せください。
