豊富なラインアップをご紹介！静電チャックやプラズマ耐性部品などを掲載
本資料は、当社で取り扱っている「精密セラミックス」の製品について ご紹介しております。 高いプラズマ耐食性が特長的な「プラズマ耐性部品」や、「半導体チャンバー 構造部品」「多孔質セラミック真空チャック/キャリア」などを掲載。 その他にも、表面特性と平滑性が高く、寸法精度にも優れている「アルミナ セラミック基板」なども、特長や写真付きでご紹介しております。 【掲載製品(一部)】 ■静電チャック ■プラズマ耐性部品 ■半導体チャンバー構造部品 ■多孔質セラミック真空チャック/キャリア ■アルミナセラミック基板 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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【その他の掲載製品】 ■窒化アルミニウムセラミック基板 ■セラミックロボットチャック ■太陽光発電用真空チャック ■窒化ケイ素セラミック基板 ■ジルコニアセラミックプレート ■液晶平面用セラミックプレート ■セラミック移印刀 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、SMTや大規模な集積回路のサービスを提供しており、高度な 半導体のための装置開発を長期的な研究の方向性としています。 得意とするのは、パートナ企業と一緒に電子技術を開発することで、 パートナー企業の生産ラインも確保できます。 また、ウェハに関する機器を研究開発中で、精密なポイントはんだ装置や デジタル顕微鏡などを取り揃えております。