拡散炉での温度変化測定など実績アプリケーション例についてご紹介！
当資料は、半導体・FPD業界における実績アプリケーション例集です。 ビューポート越し、ウエハの姿勢確認やウエハの厚み測定、画像処理 装置のピント調整、サセプタの振れ測定、ワイヤーロールの熱膨張 測定、ダイシング溝の深さ測定など、様々な事例を掲載。 その他、当社で取り扱う、測定器・変位センサもご紹介しており、 製品選定の際に参考になる一冊となっております。 【掲載事例(一部)】 ■ビューポート越し、ウエハの姿勢確認 ■ウエハの厚み測定 ■画像処理装置のピント調整 ■サセプタの振れ測定 ■ワイヤーロールの熱膨張測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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【その他の掲載事例(一部)】 ■ポリッシングテーブルの平行度測定 ■ウエハラック取り出し口での除電 ■拡散炉での温度変化測定 ■ピンの高さ測定 ■マスクとガラスのギャップ測定 ■スピンレスコーターのギャップ測定 ■ディスペンサノズルの高さ測定 ■シール材の形状測定 ■液晶基板の欠け検出 ■ガラスの位置決め ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
キーエンスは、ファクトリー・オートメーション（FA）の総合メーカーです。 1974年の会社設立以来、付加価値の創造こそが企業の存在意義であり、 付加価値の創造によって社会に貢献するという考えのもと、 今まで世の中になかった商品の提供を通じて、お客様の課題を解決すること、 新しい価値を生み出し続けること、にこだわり続けてきました。 現在ではFA用センサをはじめとする付加価値の高い商品が、 自動車・半導体・電子・電気機器・通信・機械・化学・薬品・食品など幅広い業界で採用され、 世界46ヵ国250拠点から35万社のものづくりに貢献しています。