装置内で部品（カバーリング、石英への溶射、シャワープレート）が、プラズマにより損傷を受け劣化したものを解決した事例を紹介！
半導体・液晶業界では、ICチップや液晶パネルの製造ラインなど クリーンな環境で製造しています。 その様な環境下で製造装置は、絶縁性や耐プラズマ性などが要求されます。 セラミック溶射でそのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 装置内で部品（カバーリング、石英への溶射、シャワープレート）が、 プラズマにより損傷を受け劣化した ■提案 耐プラズマ性や、コンタミ防止などの効果のあるコーティングを提案 ■効果 損傷を受けたり部品の寿命が延び、コーティングが何度も再生可能になった 部品を新品で購入する費用が抑えられ大変喜ばれた
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基本情報
【日本コーティング工業の溶射種類】 ■ローカイド溶射 ■プラズマ溶射 ■高速フレーム溶射 ■アーク溶射 ■サーモ溶射 【溶射の取扱材料】 ■ロッドタイプ溶射材料 ■酸化物系溶射材料 ■炭化物系溶射材料 ■金属・合金溶射材料 ■自溶性合金溶射材料
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納期
用途／実績例
【実績】 ■化学プラント：シャフト、スリーブ、プランジャー、メカニカルシールの摺動部 ■半導体・液晶：カバーリング、石英への溶射、シャワープレート ■鉄鋼・金属：伸線機部品、フリンガー、圧延軸 ■フィルム：SCR、RA、WC、OAT、 ■自動車：ピストンヘッド、焼入れコイル ■飲料：フィラー充填機部品、フィラー充填機部品、ガイド
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企業情報
セラミック溶射の基幹技術ローカイドプロセスを日本で最初に導入し、 ロケット開発を支えて以来半世紀、NCIは常にローカイドプロセスを 追求しセラミック溶射をリードし進化させてきました。 ローカイドプロセスのノウハウがあればこそプラズマ・ ハイブリッド・高速フレーム・表面パターンなど突出した機能と品質の提供が可能です。 NCIの溶射技術は先端技術分野でも幅広く利用されており NCIならではの質の高いソリューションを提供しています。