比較的低分子量の環状、鎖状シロキサンを含む気体を測定し分離、検出が可能か確認！
低分子シロキサンはシリコーン製品の原料やドライクリーニング用溶媒、 化粧品の添加剤等で広く使用されています。 沸点が高いにもかかわらず揮発性が高い特長を持ち室温においても容易に 気中に拡散し、揮発後の再付着により半導体製造装置のレンズ曇りや 絶縁膜の耐圧低下、接点不良などの悪影響を及ぼすことが知られています。 今回は低分子シロキサンのうち比較的低分子量の環状、鎖状シロキサンを 含む気体を測定し分離、検出が可能か確認しました。詳細は、PDF資料より ご確認いただけます。是非、ご覧ください。 【概要】 ■Sylphによる分析 ・低分子シロキサンのうち環状シロキサン(D3,D4,D5,D6)と鎖状のシロキサン (M2,M3,M4,M5)をアセトン溶媒で希釈し、窒素を封入したガスバッグに注入後、 ガスをSylphに導入し測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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ボールウェーブ株式会社は、センサー開発・製造・販売事業やセンサー を用いたシステムの製造、販売及び輸出入、センサーに関する研究・開発・ コンサルティングの受託事業を行っています。 製品として、超微量水分計や超小型リアルタイム微量水分計の取扱が ございます。ご要望の際はお気軽にお問合せください。
