ドライエッチングプロセスにて使用可能なポジ型レジスト材料です
『UPPシリーズ』は、下記特性を持ち、ドライエッチングプロセスにて使用可能な配線形成用途向けポジ型レジスト材料です。 ■ 高感度：≧ 40 mJ/cm2 ■ 良好なパターニング性能：≧ 4 μm ■ 良好なドライエッチング耐性 ※ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
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企業情報
大阪有機化学工業株式会社はアクリル酸エステルを基盤として、生活を支える身の回りの様々な樹脂原料となる素材を提供しています。 当社の主要製品であるアクリル酸エステルは、塗料・インキ・粘接着剤・電子材料部材等の樹脂原料として、幅広い産業分野で使用されております。 また、「表面修飾・配列制御」「高純度」技術を駆使することで新たな機能を創出し、新規事業領域の拡大に取り組んでいます。 今後も、研究開発型の企業としてお客様に魅力ある新製品をご提供いたします。
