3種類のセリアスラリーを、TURBISCAN LABを用いて35℃で12時間分析した結果を解説
当資料では、高分子の分子量がCMPスラリーの安定性に及ぼす影響に ついてまとめてご紹介しております。 分散剤の分子量がCMPスラリーの安定性に及ぼす影響を分散安定性評価装置 「TURBISCAN」で評価した事例として原理、実験、結果などを掲載。 サンプルセルの高さ方向に対する透過光の経時変化や清澄層の厚みの経時変化など サンプル間の比較もご覧いただけます。 【掲載内容】 ■はじめに ■原理 ■実験 ■結果 ■まとめ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
マイクロトラック・ベル株式会社は、以下、3つの卓越したコア技術を保有しています。 1.ガス/蒸気吸着・比表面積・細孔分布・真密度・触媒評価 ガス吸着法により粉粒体(多孔性・無孔性材料)のガス/蒸気吸着量、BET比表面積、細孔分布、真密度、触媒を評価するBELSORP・BELPYCNO・BELCATシリーズと水銀圧入法にて粉粒体の細孔構造を評価するBELPOREシリーズをラインナップ 2.粒子径分布＆粒子形状評価 動的画像解析技術を用いたCAMSIZERシリーズは粒子個々の粒子径と形状を迅速に測定可能です。また、レーザ回折・散乱は、粒子の光散乱情報を元に粒子径分布を測定する技術でMICROTRACはこの原理を用いた装置のパイオニアです。 3.分散安定性評価 動的光散乱法(DLS)を用いた粒子径測定装置、流動電位法(SPM)により粒子界面の静電反発力を評価する装置、静的多重光散乱法(SMLS)により分散安定性を評価する装置をラインナップ これらの製品群は、世界中の研究開発や品質管理・品質保証の分野で使用されており、当社はワンストップソリューションプロバイダーとして日々前進しています。
