スパッタリング、プラズマCVD、各種コーティングで活躍するバイポーラ電源とMF電源
トルンプのバイポーラ電源およびMF電源は、幅広い出力範囲と高度な異常放電抑制の技術『ArcManagement』により、難度の高い反応性プロセスにおける高い成膜レートと高品質のコーティングの実現をサポートします。 従来MF電源が利用されていた50kW未満の出力範囲では、現在バイポーラ電源が広く代替利用されており、コンパクトなサイズから省スペース化が図れる点も好評です。
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基本情報
【特長】 ・広範囲の出力特性 ・出力の柔軟性 ・高い出力効率 ・モジュール式による出力拡張性 ・高度な異常放電抑制の技術『Arc Management』 ・コンパクトな設計 ・効率的な冷却設計（完全水冷を主に採用） ・幅広い入力電圧範囲 ・幅広い通信インターフェース 【出力仕様】 (1) TruPlasma Bipolar シリーズ 4000 G2.1 ・出力 5kW-180kW ・周波数 20kHz-80kHz (2) TruPlasma MF シリーズ 7000 G2 ・出力 50kW-150kW ・周波数 20kHz-50kHz（100kW以下の場合、最大70kHzがオプション対応可）
価格帯
納期
用途／実績例
【主要な用途】 (1)TruPlasma Bipolar シリーズ 4000 G2.1 ・反応性デュアルマグネトロンスパッタリング ・プラズマCVD（PE-CVD） ・硬質コーティング ・装飾コーティング ・光学膜コーティング (2)TruPlasma MF シリーズ 7000 G2 ・反応性デュアルマグネトロンスパッタリング ・大面積コーティング（Large Area Coating） 【主要な業界】 ・建築用ガラス ・車載ガラス ・ディスプレイ（FPD） ・ソーラー ・半導体・電子部品
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企業情報
トルンプは1923年にドイツで誕生した、「板金加工機」 「レーザ技術」「パワーエレクトロニクス」分野における グローバル・リーディングカンパニーです。 世界で唯一、総合板金加工機メーカーでありながら、 総合レーザ発振器メーカーでもある最大の強みを活かし、 世界中のお客様のものづくりの現場を支えています。 さらに、高速電力制御、デジタルトランスフォーメーションを 推進するソフトウエアなど、お客様の生産効率向上・ビジネス成功に貢献するソリューションを提供しています。 ※社屋写真はドイツ本社の写真です。
