オイルバックやグリースなど真空装置内の汚染原因を評価可能！
空間内の気体分子密度が低いという特徴を利用した真空装置は、 電子部品の製造工程における薄膜形成や表面分析など様々な用途で使用されます。 真空装置のチャンバーは閉ざされた空間のため、 微量の分子の存在が装置内の汚染を引き起こしやすく、汚染を抑制するために、 ポンプ・装置・試料など汚染源を特定する調査が必要です。 本資料では、真空装置内の汚染についてTOF-SIMSで調査した事例を紹介します。
この製品へのお問い合わせ
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
MSTは、高度な受託分析サービスを提供する財団法人です。 最先端の「物理的解析」と、AI技術を活用した「高度なデータ解析」を融合させることで、従来の分析の枠を超えた多角的な視点を提供し、お客様の高度なニーズに迅速かつ的確にお応えします。 技術知識を兼ね備えた専門スタッフが、お客様の課題に寄り添い、最適な分析プランをオーダーメイドでご提案いたします。オンラインでの打ち合わせはもちろん、貴社への訪問による対面でのご相談も承っております。 また、ISO9001（品質）およびISO27001（情報セキュリティ）を取得しており、機密性の高いプロジェクトにおいても、確かな技術力と厳格な管理体制のもと、安心してお任せいただける環境を整えています。製品開発の加速から不良原因の究明、特許調査まで、研究開発のあらゆるフェーズにおける課題を、確かな分析技術で解決へと導きます。
