高真空下でも蒸発が少なく、歩留まり改善に貢献。真空ポンプ、エッチング装置、ウェーハ搬送ロボットなどの用途に【無料サンプルあり】
半導体製造における高温・高真空環境下では、グリース由来のアウトガスや コンタミがウェーハ汚染の要因となり、歩留まりを悪化させることがあります。 近年、半導体の微細化などによってグリースの使用環境が厳しくなる中、 アウトガスやコンタミへの対応の必要性は高まっています。 当社では、ユーザーの皆様の要求に応えるため、 極低アウトガスグリース「BARRIERTA BFV 402」を新たに開発しましたので、ご紹介いたします。 【特長】 ■アウトガス特性の改善により安定した真空環境を維持（極低アウトガス） ■基油の飛散による汚染を抑制（低発塵） ■金属元素(不純物)非含有によりデバイス特性や加工形状の不良を低減（メタルコンタミフリー） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 高性能なグリースをお試しいただけるよう【無料サンプル】をご提供しておりますので、 お求めの方は、関連リンクをご確認下さい。
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基本情報
【SEMICON JAPAN 2025 出展情報】 ■会期：2025年12月17日（水）～19日（金）10:00~17:00 ■会場：東京ビッグサイト ■ブース番号：西棟1F No.W2516 ■展示内容：半導体製造装置用潤滑剤（グリース） ■共同出展社：イーグル工業 近年、半導体の微細化により要求が高まっている「低アウトガス」「低発塵」「メタルコンタミフリー」をコンセプトに開発した 『極低アウトガスグリース』の他、クリーンルーム適合材料として認められた『低発塵グリース』を展示します。 高真空環境下で使用可能なフッ素グリース／オイルをはじめ、各半導体製造装置の軸受、直動、シール部品に適した潤滑剤をご提案致します。 経験豊富なスタッフがお客様からの様々なご要望に対応いたしますので、是非、弊社ブースまでお越しいただき、ご相談ください。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 高性能なグリースをお試しいただけるよう【無料サンプル】をご提供しておりますので、 お求めの方は、関連リンクをご確認下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造装置のしゅう動部 ■FPD・太陽光パネル製造装置のしゅう動部 ■搬送ロボット用軸受 ■真空ポンプ ■エッチング装置 ■ウェーハ搬送ロボット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 高性能なグリースをお試しいただけるよう【無料サンプル】をご提供しておりますので、 お求めの方は、関連リンクをご確認下さい。
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企業情報
NOKクリューバー株式会社は、NOK株式会社と特殊潤滑剤メーカーである ドイツのクリューバー社との合弁により誕生しました。 両社の長年培った固有技術を基礎に自動車、産業機械、家電製品、事務機、 半導体産業など様々な市場においてそれぞれのニーズに合った製品、技術、 サービスを提供しています。
