APIX δQ & APIX Quattro ガスアナライザー
Thermo Scientific
超高純度ガスをpptレベルで可視化する次世代オンラインガスアナライザー
半導体製造に不可欠な超高純度ガスの品質を、リアルタイムかつ高感度に分析するガスアナライザーです。 API-MS技術により従来法を超える検出性能を実現します。API-MSとは、大気圧イオン化を用いた高感度ガス分析技術です。 ・pptレベル（<10 ppt）の超高感度分析 ・水分・酸素・CO・CO2など多成分不純物を同時測定 ・連続オンライン監視で品質管理を自動化 ・従来技術比 最大100倍の低検出限界 ・半導体・電子材料向けUHPガス分析に最適
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基本情報
API-MS（大気圧イオン化質量分析）をベースに、高速・高精度な不純物検出を実現するガスアナライザーです ・検出限界：<10 ppt（成分依存） ・分析時間：数秒〜（高速オンライン測定） ・測定対象：H2O、O2、CO、CO2、CH4、Kr、Xe 他 ・対応ガス：N2、Ar、He、H2（超高純度ガス） ・測定方式：API-MS（大気圧イオン化質量分析） ・イオン源バックグラウンド：<1 ppt ・自動校正・自動切替機能搭載 ・通信：RS232等（設備連携対応） 本製品は「pptレベル×リアルタイム×多成分同時分析」において、従来の露点計・酸素計・GCを大きく上回る分析性能を提供します。
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用途／実績例
超高純度ガスの品質管理が求められる最先端産業で採用され、歩留まり向上とコスト削減に貢献します。 ・半導体製造プロセス（ウェーハ汚染防止） ・電子材料・デバイス製造のQA/QC ・ガスメーカーの品質保証・出荷検査 ・研究開発における微量不純物分析 ・IoT・AIデバイス向け先端材料プロセス管理 微量不純物は製品不良や数百万ドル規模の損失につながるため、本装置は業界標準の品質管理ソリューションとして広く利用されています。
企業情報
サーモフィッシャーサイエンティフィック インコーポレイテッドの日本法人である、サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社は、総合システム分析機器およびバイオ関連機器、研究用試薬などの販売会社です。日本国内では横浜、東京、大阪、福岡、名古屋に拠点を持ち、質量分析計をはじめとする各種分析機器、各種バイオ関連機器、計測器、医療機器、ラボ用ソフトウエア、研究用試薬を取り扱っています。
