一貫ラインにより、外周部やノッチ部分まで透明に磨き上げる「鏡面エッジ加工」や、複雑な穴あけ・溝・段差加工を実現。
切断・研削・研磨・洗浄の一貫ラインにより、外周部やノッチ部分まで透明に磨き上げる「鏡面エッジ加工」や、 複雑な穴あけ・溝・段差加工を実現。装置設計者の皆様の「精度の悩み」を解決します。 ▼こんなお悩みありませんか？ 半導体製造・検査装置の設計・開発において、以下のような課題にお悩みではありませんか？ ・石英部品のエッジ（端面）からの発塵が原因で、クリーン度が維持できない。 ・真空吸着ステージの平坦度が悪く、リークやフォーカスズレが発生する。 ・複雑な形状の石英部品が必要だが、精度と強度を両立できる加工先がない。 ミツル光学研究所の「特殊加工・高精度研磨」がその課題を解決します。 【特長1】発塵リスクを低減する「鏡面エッジ研磨」と「高精度面取り」 【特長2】穴あけ・溝・段差加工など、複雑な「特殊加工」に対応 【特長3】多様な光学ガラス・石英素材を調達からサポート 素材特性（透過率、耐熱性、膨張係数）を熟知したプロフェッショナルが、用途に最適な硝材選定から加工・検査までをトータルでサポートします。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
対応素材：各種石英ガラス、光学ガラス、セラミックス 等 特殊加工：穴あけ、溝加工、段差加工、異形加工、鏡面面取り 洗浄：超純水洗浄など、高いクリーン度に対応 検査：干渉計などを用いた高精度測定
価格帯
納期
用途／実績例
5. 主な用途例 ・半導体検査装置用 ウエハーチャック / ステージ ・搬送アーム / 吸着パッド ・光学フィルター / ミラー / プリズム ・基準ゲージ / 校正用治具
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企業情報
ミツル光学研究所は最先端の技術と設備を武器に光学用硝子の加工、LCD用硝子基板加工の分野で高い評価を得てまいりました。近年は、培った加工技術を応用し、厳しいTTVを要求される半導体業界におけるウェハー薄型化工程のサポート用ガラスの御用命が多くなりました。 また、付加価値のついたガラスだけでなく、液晶加工における端材を利用することで、各方面で使用される検証ガラスを廉価でお分けする事で、たいへん喜ばれております。 是非、一度、御相談頂ければ幸いです。
