100mmの距離でも高効率加熱を実現する赤外線ヒータ
半導体業界の成膜工程では、均一な温度分布と精密な温度制御が求められます。特に、基板と熱源の距離が離れると、加熱効率が低下し、温度ムラが発生しやすくなります。温度ムラは、成膜の均一性を損ない、製品の品質低下につながる可能性があります。Simplex Heaterは、平行光型赤外線ヒータモジュールを採用し、100mmの距離でも高効率加熱を実現します。これにより、成膜工程における温度ムラを抑制し、製品の品質安定に貢献します。 【活用シーン】 ・成膜工程 ・基板加熱 ・温度ムラ対策 【導入の効果】 ・加熱効率向上によるエネルギー削減 ・工程の安定化 ・製品品質の向上
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基本情報
【特長】 ・従来2〜30mmだと高効率の赤外線ヒータを、100mmでも効率的に加熱 ・平行光型赤外線ヒータモジュール採用 ・冷却性能向上により、無冷却または空冷での運用が可能 【当社の強み】 中部電力ミライズ株式会社は、エネルギー事業を通じて培ってきた技術力と提案力を活かし、お客様の課題解決をサポートします。電気・ガス事業に加え、エネルギー関連設備の製造・販売、コンサルティングも行っており、幅広い視点から最適なソリューションを提供します。ご相談はお気軽にお問い合わせください。
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企業情報
中部電力ミライズ株式会社は、中部電力グループの販売事業会社として、 より近いところでお客さまと向き合い、スピーディーに事業運営を 行っていくために、中部電力株式会社より分社化した会社です。 様々な社会課題の解決にお役に立てる「コミュニティサポートインフラ」を はじめとした新しい価値やサービスをお届けすることで、お客さまの 「暮らしをゆたかに」「ビジネスを支える」存在へと成長してまいります。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。
