エッチング・CVD工程に。高熱伝導率と耐プラズマ性で高精度なFPD製造をサポート
FPD製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスの高精度化が求められます。特に、エッチング工程やCVD工程においては、温度管理や異物混入の防止が重要であり、使用される部材の特性が製品の品質を大きく左右します。当社の特殊セラミック部品は、高い熱伝導率と耐プラズマ性を備え、FPD製造における高精度なプロセスを支えます。窒化アルミは、熱伝導性に優れ、温度管理を最適化し、イットリアは、耐プラズマ性により、パーティクルの発生を抑制します。これらの特性により、歩留まり向上に貢献します。 【活用シーン】 ・エッチング工程 ・CVD工程 ・検査工程 【導入の効果】 ・高い熱伝導率による温度管理の最適化 ・耐プラズマ性によるパーティクル低減 ・高品質なFPD製造の実現
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基本情報
【特長】 ・窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率 ・イットリアは、高い耐プラズマ性 ・窒化アルミは、エッチング工程、CVD工程向けをご用意 ・イットリアは、焼結材部品と溶射材をラインアップ ・溶射材は高い密着性により、パーティクル低減に貢献 【当社の強み】 CHIYODAは、ものづくりに欠かせない装置部材から修理サービスまで、製造業のお客さまに貢献できる商品ラインナップがあります。専門商社として、お客様のニーズに合わせた最適な製品をご提案します。
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CHIYODAにはものづくりに欠かすことのできない装置部材から修理サービス、環境貢献商品まで、製造業のお客さまであれば、必ずなんらかの形で貢献できる商品ラインナップがあります。
