\業界最薄クラス/高精度な位置決めを実現する薄型DDモーター
半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、高い精度と安定性が求められます。従来のモーターでは、設置スペースの制約や、位置決めの精度に課題がありました。薄型DDモーター【DMTシリーズ】は、これらの課題を解決し、半導体製造における位置決め精度を向上させるために開発されました。 当社のリニアモーターステージと組合わせれば比較的容易にXYθステージも構築可能です。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送 ・マスクアライメント ・検査装置 ・微細加工 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・装置の小型化 ・工程時間の短縮 ・歩留まりの向上
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基本情報
【特長】 ・圧倒的な大中空径 ・高分解能で優れた位置決め精度 ・ギアなし・ゼロバックラッシュ ・独自の電気回路設計により高トルク ・厚さ 22mm の「DMTB2・DMTF2」に加え、2023年6月より、新たに中空径340mm/薄さ30mmの「DMTK3」を受注・販売開始 【当社の強み】 HIWINは、世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様化する顧客ニーズに対応するために製品開発に注力しています。世界有数の工作機メーカー、自動車メーカー、半導体および製造装置メーカーへの納入実績を積み上げています。
価格帯
納期
用途/実績例
自動化機器や省人化機器、搬送機器の省スペース化・低重心化に。 詳細はカタログをご覧になるか、お問い合わせください。
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HIWIN(ハイウィン)は台湾、台中に本社(資本金約160億円、従業員約6,400名)を置き、日本以外にドイツ、アメリカなど、世界12か国に拠点を置くグローバル企業です。世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様化する顧客ニーズに対応するために製品開発に注力し、世界有数の工作機メーカー、自動車メーカー、半導体および製造装置メーカーへの納入実績を積み上げ、優良パートナー企業へと躍進しています。(ISO9001, ISO14001, ISO45001認証取得) また、機械要素部品だけでなくメカトロ製品を幅広く開発製造し、単なる部品メーカーの範囲にとどまらないソリューションを幅広い産業に提供します。 1999年設立の日本法人、ハイウィン株式会社は本社を兵庫県神戸市に構え、日本全国10都市に営業拠点を配置。2022年、神戸市内約7500坪の敷地に研究開発機能を備えた本社工場を設立いたしました。 今後、当社は各領域において専門性を発揮し、価値ある製品の製造・開発を通じ、お客様に最適なソリューションの提供に向けて全力を尽くすことで、「次世代ものづくりを支える」企業として日本の産業発展に貢献します。






