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S-335 ピエゾ チップ/チルト プラットフォーム

最終更新日:2026年03月17日

PIジャパン株式会社
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大偏向角×高速応答で、レーザービーム制御の精度とスループットを向上

レーザー加工では、ビームの位置・角度制御の精度と応答速度が、加工品質と生産性を大きく左右します。特に微細加工や高速スキャンでは、わずかなビームの揺らぎや遅れが加工精度の低下や不良の原因となります。 『S-335』は、最大35 mrad(光学偏向角70 mrad)の大偏向角と、高速応答を両立したチップ/チルト型ピエゾプラットフォームです。パラレルキネマティクス構造により、高速かつ高精度な2軸制御を実現し、ビームステアリングやスキャン用途に最適です。さらに、ゼロバックラッシュのフレクシャガイドとストレインセンサーにより、高い直線性と優れた再現性を確保。高速動作時でも安定したビーム制御が可能です。 【活用シーン】 ・レーザービームの精密な位置決め ・画像安定化 ・レーザービーム制御 ・光学通信 【導入の効果】 ・加工精度と効率の向上 ・高速・高精度な加工の実現 ・多様な加工ニーズへの対応

    圧電デバイスアクチュエーターその他産業用ロボット
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【レーザー加工向け】チップ/チルトピエゾプラットフォーム

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基本情報

【特長】 ・チップ/チルト角35mrad、光偏向角70mrad(~4°) ・歪みセンサによる高リニアリティ ・ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数 ・パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上 ・小型パッケージながら、大きな偏向角が可能 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適な精密位置決めソリューションを提供します。世界シェアNo.1のピエゾステージをはじめ、多様な製品ラインナップと、グラナイト定盤などの周辺機器を含めた複合システムのご提案が可能です。

価格帯

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用途/実績例

【用途】 ■画像処理 ■インターレーシング、ディザリング ■レーザースキャニング/ビームステアリング ■光学 ■光学フィルター/スイッチ ■走査型顕微鏡 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高速チップ・チルトピエゾミラーステージ『S-335』

高速チップ・チルトピエゾミラーステージ『S-335』

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多軸デジタルピエゾコントローラ E-727

多軸デジタルピエゾコントローラ E-727

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V-931 ボイスコイル駆動 TipTiltミラーステージ

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チップチルトピエゾステージ S-331カタログ

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Physik Instrumente(PI)は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。

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