排気管理の精度向上に貢献！
半導体製造プロセスでは、クリーンな環境維持が不可欠であり、排気システムの適切な管理が求められます。特に、有害物質や微粒子の漏洩を防ぐためには、排気圧力を正確に監視し、異常を早期に検知することが重要です。低すぎる圧力は排気能力の低下を招き、高すぎる圧力はシステムの負荷増加や故障の原因となります。EE610 低差圧センサーは、高精度な差圧測定により、排気システムの最適な状態を維持し、製造環境の安全性を確保します。 【活用シーン】 ・クリーンルームの排気システム ・半導体製造装置の排気管理 ・有害ガス排出設備の監視 【導入の効果】 ・排気システムの異常を早期に検知し、事故を未然に防止 ・製造環境の安全性を向上 ・装置の稼働率を向上
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基本情報
【特長】 ・アナログおよびデジタル出力 ・IP65 / NEMA 4X ・精度± 0.5 Pa ・測定範囲：± 25 / ± 50 / ± 100 Pa、0～100 Pa ・空気だけでなく、すべての不燃性および非攻撃性のガスに対応 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして培った豊富な経験と技術力で、お客様のニーズに合わせた最適な製品とサービスを提供します。計測器の販売だけでなく、校正・点検・修理まで一貫して対応し、お客様の安定的な操業をサポートします。
価格情報
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納期
用途／実績例
● クリーンルーム ● 病院 ● 研究所 ● 隔離室 ● 製薬業界 他多岐にわたる
企業情報
国産静電容量式露点計TK-100シリーズをはじめ、ミラー式露点計、酸素濃度計、加湿装置、腐食性ガス中水分計という、水分管理に関わる様々な計測器・装置を紹介しております。これらを有機的に組み合わせ、また、配管、ライン作成、ユニット化により、オーダーメイドの製品をご提供し、複雑な問題点にも迅速に対応させて頂きます。
