非腐食性および非可燃性ガスの監視に特化した熱式質量流量計
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、特殊ガスの正確な流量管理が不可欠です。特に、高純度ガスを使用する工程においては、微小な流量変動が製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。流量計の不具合は、製造プロセスの停止や不良品の発生につながるリスクがあります。EE776は、非腐食性および非可燃性ガスの流量を正確に監視し、安定した製造プロセスをサポートします。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける特殊ガスの流量監視 ・クリーンルーム環境でのガス流量測定 ・ガス供給システムの異常検知 【導入の効果】 ・ガスの使用量を最適化し、コスト削減に貢献 ・製造プロセスの安定化と歩留まり向上 ・製品品質の向上
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基本情報
【特長】 ・逆戻り防止機能 ・密閉された Oリング ・プローブの位置決め ・対流誤差カットオフ機能 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして培ったノウハウを活かし、お客様のニーズに合わせた最適な製品選定と、導入後のサポートを提供します。校正・点検・修理サービスも行っており、安心して製品をご利用いただけます。
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用途／実績例
● 圧縮空気 ● 窒素 ● CO₂ ● その他の非腐食性ガス ● 非可燃性ガス の監視など
企業情報
国産静電容量式露点計TK-100シリーズをはじめ、ミラー式露点計、酸素濃度計、加湿装置、腐食性ガス中水分計という、水分管理に関わる様々な計測器・装置を紹介しております。これらを有機的に組み合わせ、また、配管、ライン作成、ユニット化により、オーダーメイドの製品をご提供し、複雑な問題点にも迅速に対応させて頂きます。
