±50 mm / ±30°対応・高速6軸制御ヘキサポッド
H-840 ヘキサポッドは、製造装置や検査工程への組込みに適した6自由度パラレルキネマティクス位置決めシステムです。±50 mm / ±30°の広い動作範囲と高ダイナミック性能を備え、高速かつ高精度な6軸同時制御を実現。光学アライメントや精密検査、微細加工工程における位置調整を高精度にサポートします。詳細な仕様・構成例はカタログをご覧ください。 【活用シーン】 ・半導体／電子部品の高精度検査 ・光学部品の6軸アライメント ・レーザー加工装置への組込み ・精密組立・調整工程 【導入の効果】 ・6軸同時制御による高精度位置合わせ ・高速応答によるタクトタイム短縮 ・広い可動範囲で多様なワークに対応 ・装置組込みに適したコンパクト設計
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基本情報
【特長】 ・高精度6軸システム ・トラベルレンジ：最大±50 mm / ±30° ・自由6軸パラレル可動設計 ・再現性：最大±0.1 µm ・最大速度：60 mm/s ・ピボットポイント（回転中心）の任意設定が可能 【当社の強み】 ドイツ本社で50年以上にわたり培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。
価格帯
納期
用途／実績例
研究および産業：微細操作、レーザーアライメント/工学アライメント、バイオテクノロジー、ツール制御
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
