摩擦抵抗ゼロで、半導体製造工程の品質と効率を向上。
半導体製造業界では、高精度な位置決めとクリーンな環境が不可欠です。特に、ウェーハや基板の搬送、精密な組み立て工程においては、微細な塵埃の発生や摩擦による位置ずれが、製品の品質を大きく左右します。従来のシリンダでは、摺動抵抗や発塵が課題となっていました。本製品は、エアベアリング技術により、ロッドとガイド間の非接触を実現し、摩擦抵抗をゼロに。さらに、クリーンルーム対応も可能で、半導体製造における厳格な要求に応えます。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送 ・精密研磨装置 ・半導体製造装置の位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めを実現 ・発塵を抑制し、製品の品質向上に貢献 ・クリーンルーム環境に対応
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基本情報
【特長】 ・ピストン及びロッドのガイド部にエアベアリングを採用することにより、非接触でストロークするため摩擦抵抗が発生しません。 ・多孔質金属焼結体エアベアリングの採用により，従来品よりも高い横剛性。 ・Φ10～Φ100まで標準ラインアップ。Φ190まで特殊対応可能。 ・動作方式は単動押出形と複動形の2種類 。 ・客先仕様に対応した特殊品での製作が可能。 【当社の強み】 各種ゴム製品とコンポジット（複合化）技術を活かした製品の製造・販売を行っており、お客様のニーズに合わせた製品を提供します。
価格情報
数量によって価格が変動しますのでお気軽にお問い合わせください。
納期
※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください
用途／実績例
精密かつ精度を必要とする装置にて採用されております。 ● 加工ヘッド部・センサヘッド部の自重キャンセル（バランサー） ⇒液晶貼り合わせ、三次元測定機 ● 精密押圧コントロール ⇒各種ボンディング、マウンター装置・半導体、液晶製造の周辺機器 ● 工作機械 ⇒ナノ加工機、研磨機、溶接機等 ● テンションコントロール ⇒高機能ファイバー加工機向け 弊社レギュレーター【RS】【RS.M/S】との組み合わせにより より高度な制御が可能になります。
カタログ（4）
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企業情報
工業用ゴム部品の他、流体制御機器、除振台およびその周辺機器、印刷機材、電気・電子機器、救難救命具等産業資材、ゴルフ用カーボンシャフトの製造販売等様々な分野で幅広く事業を展開しています。
