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【半導体製造向け】熱電対センサー

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最終更新日:2026年03月03日

石川産業株式会社
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極低温から超高温まで、半導体製造の温度管理をサポート

半導体製造業界では、製造プロセスの品質管理において、正確な温度測定が不可欠です。特に、高温での処理や精密な温度制御が求められる工程では、温度測定の精度が製品の歩留まりや品質に大きく影響します。熱電対センサーは、極低温から超高温まで幅広い温度範囲に対応し、多様な形状と素材で、半導体製造現場の様々なニーズに応えます。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程 ・高温焼成炉 ・真空蒸着装置 ・各種プロセスチャンバー 【導入の効果】 ・正確な温度測定による品質向上 ・プロセスの安定化 ・歩留まりの改善 ・多様な形状と素材による柔軟な対応

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【半導体製造向け】熱電対センサー

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基本情報

【特長】 ・極低温(-273℃)から超高温(2320℃)まで広範囲での温度測定が可能。 ・素線径10μから対応。 ・優れた薬品耐性のあるテフロン、安価耐熱型のガラス繊維等から、カプトン、セラモ等の特殊被覆まで対応。 ・ネジ留型、注射針型など、特殊形状品の取扱いもございます。 ・超高速レスポンス10msの応答時間、超薄型表面センサー 【当社の強み】 熱・光・温度の各種センサの開発・製造・販売を行っており、熱電対センサのコンサルティングからオーダーメイド製作まで対応いたします。

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熱・光・温度の各種センサに加え、熱効率と均熱特性に優れた昇温能力をもつ管状電気炉「透明電気炉(ゴールドファーネス)」、2000°Cを越える超高温域での製品素材や部品材料の研究に最適な真空・ガス雰囲気炉「RED DEVIL」、ゼロカーボンで注目されている太陽光発電事業向け太陽放射エネルギー監視機器(基準太陽光モジュール)、風向風速センサの開発・製造をはじめ、SDGsに対応した電気やレンタル事業、風向風速観測代行サービス、熱電対センサのコンサルティングからオーダーメイド製作まで、諸官庁並びに各種研究機関、半導体製造現場等、幅広い分野に製品を供給させていただいております。

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