44mmキューブ筐体で、フォトニクス・半導体装置への高密度組込みに対応
P-611.3 NanoCubeは、XYZ 3軸制御を可能にする超小型ピエゾナノポジショニングステージです。44×44×44mmのコンパクトサイズながら、最大120µmの移動量と0.2nmの分解能を実現し、ナノレベルの位置決めが求められる研究・産業用途に最適です。 高精度フレクシャーガイド構造によりバックラッシュのない滑らかな動作を実現し、高速スキャンや高精度アライメントに対応します。 さらに、PI独自のPICMA（R）ピエゾアクチュエータを採用し、湿気や漏れ電流による故障を防止。従来のポリマー絶縁型アクチュエータと比べて最大10倍の長寿命を実現しています。
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基本情報
・移動範囲：最大120µm × 120µm × 120µm（XYZ、オープンループ） ・クローズドループ移動量：100µm × 100µm × 100µm ・分解能：0.2nm ・外形寸法：44mm × 44mm × 44mm ・共振周波数（無負荷）：X 350Hz / Y 220Hz / Z 250Hz ・コネクタ：D-sub 25ピン ・ケーブル長：1.5m ※詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけますので、ダウンロードしてご覧ください。また、ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
P-611.3 NanoCubeは、ナノレベルの精密位置決めが必要な研究開発・産業用途で幅広く使用されています。 主な用途例 ・フォトニクス／集積光学 ・マイクロマニピュレーション ・バイオテクノロジー ・半導体試験 ・ファイバー位置決め
企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
