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【半導体向け】洗浄ユニット『ファインジェット』

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最終更新日:2026年03月11日

株式会社プレテック 静岡製作所
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低出力から高出力まで、半導体製造の精密洗浄ニーズに対応!

半導体業界における精密洗浄は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な工程です。特に、微細化が進む中で、ウェハーや基板に付着した微細な異物や残留物は、デバイスの性能低下や不良の原因となります。そのため、高い洗浄能力と、基板へのダメージを最小限に抑えることが求められます。ファインジェットは、低出力から高出力まで安定した発振により、様々な洗浄ニーズに対応し、半導体製造における課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェハー基板洗浄 ・磁気ディスク洗浄 ・CMP後ウェハー洗浄 【導入の効果】 ・幅広い洗浄ニーズへの対応 ・高品質な洗浄による歩留まり向上 ・多様なノズルバリエーションによる最適な洗浄

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【半導体向け】洗浄ユニット『ファインジェット』

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基本情報

【特長】 ・微細な出力調整:1W刻みの安定した出力調整可能(PT-010J50) ・多彩な周波数を選択可能(400kHz/1500kHz/3000kHz) ・多彩なノズルバリエーション:耐薬品、メタルコンタミネーションフリー ・検出機能強化:振動子劣化を検出可能(PT-010J50) ・通信機能強化:発振器状態の監視、外部設定(PT-010J50) 【当社の強み】 当社は、半導体業界のお客様の用途、製造ライン等に対応した各種装置の開発・設計・製造及び販売を行っています。顧客仕様に基づくカスタマイズ生産に特化し、設計、開発、組立て、検査、据付、保守に至るまで製品のライフサイクルをトータルにサポートします。

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用途/実績例

【用途】 ■各種ウエハー基板洗浄(シリコン、ポリシリコン、化合物半導体、石英ガラス) ■各種フォトマスク ■磁気ディスク ■ウエハーのCMP後洗浄 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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当社は、半導体業界、フォトマスク業界、ディスク業界及びレンズ業界に対し、 お客様の用途、製造ライン等に対応した各種装置の開発・設計・製造及び販売 などを行っている会社です。 顧客仕様に基づくカスタマイズ生産に特化し、設計、開発、組立て、検査、 据付、保守に至るまで製品のライフサイクルをトータルにサポート。 すべての工程で顧客と密接な関係を構築することで直接、顧客の考える問題点や 技術トレンドを感じ取り、それに応じた開発にいち早く着手しています。

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