半導体製造におけるガス流量管理を、高精度・高信頼性でサポート。
半導体業界では、製造プロセスにおけるガスの正確な流量管理が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術においては、ガスの流量変動が製品の性能に直接影響を与えるため、安定した流量測定が不可欠です。FMZ-1063 seriesは、高精度な流量測定により、半導体製造におけるガス流量管理の課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置におけるガス供給ライン ・クリーンルーム内でのガス流量監視 ・各種ガス流量のモニタリングと制御 【導入の効果】 ・高精度な流量測定による品質向上 ・製造プロセスの安定化 ・歩留まりの改善
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基本情報
【特長】 ・高精度なマスフローメーターを採用したオールインワンフローテスター ・前面パネルに校正ポートを設け、感度校正も操作性向上 ・定評のある補正機能SCANは継承 ・ディスプレイは 5.6 インチカラー液晶を採用し、従来より2倍以上の視認性 ・各種データ出力あり 【当社の強み】 漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求しています。各種漏れ試験に対応し、お客様のニーズに合わせた製品を提供します。
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企業情報
【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015） 本社住所：東京都練馬区貫井三丁目１６番５号（〒176-0021） 電話番号：03-3577-1111（代表）
