薄膜製造工程の精度と効率を向上させる多軸モーションコントローラー
ディスプレイ製造業界では、薄膜形成工程における精密な位置決めと同期制御が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、薄膜の均一性や膜厚の精度は、ディスプレイの表示性能に直接影響するため、高いレベルの制御が求められます。HIMC3は、最大16軸の完全同期制御と最大32個のサブデバイスへの対応により、薄膜製造工程における高度なモーション制御を実現します。 【活用シーン】 ・薄膜成膜装置 ・スパッタリング装置 ・蒸着装置 ・フォトリソグラフィ装置 【導入の効果】 ・薄膜形成工程の精度向上 ・生産性の向上 ・歩留まりの改善 ・製品品質の安定化
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基本情報
【特長】 ・最大16軸を完全同期制御 ・最大32個のサブデバイスに対応 ・サイクルタイム最大250μs ・10/100/1000 Mbps TCP/IP ホスト通信 ・CANopen over EtherCAT(CoE)通信をサポート ・ポイントツーポイントモーション、直線補間、円弧補間など ・C/C++/C#/Python/LabVIEW用プログラミングAPIライブラリ ・CE/UL認証 【当社の強み】 HIWINは、世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様な顧客ニーズに対応する製品開発に注力しています。長年の実績と技術力で、お客様の薄膜製造工程の課題解決をサポートします。
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用途/実績例
幅広いモーターに対応 ・ACサーボモーター ・DDモーター ・トルクモーター ・リニアモーター ・多軸位置決めステージ
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HIWIN(ハイウィン)は台湾、台中に本社(資本金約160億円、従業員約6,400名)を置き、日本以外にドイツ、アメリカなど、世界12か国に拠点を置くグローバル企業です。世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様化する顧客ニーズに対応するために製品開発に注力し、世界有数の工作機メーカー、自動車メーカー、半導体および製造装置メーカーへの納入実績を積み上げ、優良パートナー企業へと躍進しています。(ISO9001, ISO14001, ISO45001認証取得) また、機械要素部品だけでなくメカトロ製品を幅広く開発製造し、単なる部品メーカーの範囲にとどまらないソリューションを幅広い産業に提供します。 1999年設立の日本法人、ハイウィン株式会社は本社を兵庫県神戸市に構え、日本全国10都市に営業拠点を配置。2022年、神戸市内約7500坪の敷地に研究開発機能を備えた本社工場を設立いたしました。 今後、当社は各領域において専門性を発揮し、価値ある製品の製造・開発を通じ、お客様に最適なソリューションの提供に向けて全力を尽くすことで、「次世代ものづくりを支える」企業として日本の産業発展に貢献します。











