低温～高温環境で精密駆動を実現するエアシリンダ
半導体製造業界の高低温環境下では、温度変化に強く、精密な動作が可能なエアシリンダが求められます。 特に、ウェーハ搬送やチャンバー内の精密な位置決めにおいては、エアシリンダの耐久性と正確性が、生産効率と製品品質を左右する重要な要素となります。 当社の高低温エアシリンダは、-60℃～200℃の温度範囲で使用可能で、真空環境下での精密駆動を実現します。 【活用シーン】 ・真空チャンバー内の精密位置決め ・高低温環境下での押圧制御駆動 ・ウェーハ搬送 ・高温・低温環境下での部品移動 【導入の効果】 ・高耐久性による製品寿命の向上 ・温度変化に強い安定した動作 ・精密な位置決めによる歩留まり向上
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基本情報
【特長】 ・-60℃～200℃の幅広い温度範囲に対応 ・ゴム配合の工夫による高耐久性 ・ダイヤフラムの最適形状設計 ・使用する基布材質の提案が可能 【当社の強み】 当社は、各種ゴム製品とコンポジット技術を活かした製品の製造・販売を行っており、エアシリンダをはじめとする流体制御機器の開発・製造において豊富な実績があります。お客様のニーズに合わせた最適な製品をご提案いたします。
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
半導体製造装置 ハンドラ装置
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企業情報
工業用ゴム部品の他、流体制御機器、除振台およびその周辺機器、印刷機材、電気・電子機器、救難救命具等産業資材、ゴルフ用カーボンシャフトの製造販売等様々な分野で幅広く事業を展開しています。
