異音に注視した監視でポンプ故障を未然に防止！メンテナンス費用を削減した事例
半導体製造装置のターボ分子ポンプに「VD-unit」を導入し、 ベアリング異常(異音)を検知するシステムを構築した事例のご紹介です。 ポンプの寿命や故障の予兆を正確に把握できないため、過剰な メンテナンスにならざるをえず、メンテナンス費が高額になって いたことが課題でした。 保守作業員は経験的にベアリング劣化したポンプは発生する異音が 大きくなることを認識。「VD-unit」は、この異音を振動値として 定量的に検知するシステムを構築しています。 【事例概要】 ■要望：ターボ分子ポンプの突発的な故障を防止し、メンテナンス費用を削減したい ■VD-unitの設定 ・フィルター1kHz～10kHz ・測定モード：加速度 ・演算モード：RMS、CF ■正常状態：0.7m/s2(RMS設定) ■異音発生：4.5m/s2(RMS設定) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
振動試験装置の販売において、国内シェアトップ。振動を「起こす」「測る」1957年の設立以来、振動を中心とした環境試験・計測・解析の分野で事業を展開してまいりました。これからも世界レベルの「開発力」「提案力」そして「総合力」を強みに、製品・パートナー・社会に対して、信頼を形にする企業でありつづけます。
