反り・傾きカンタン測定!
1点照射でワーク傾き測定可能! 繰り返し再現性:1秒(0.0003度)」高精度・高分解能を実現したレーザオートコリメータです。 【特長】 ・手のひらサイズで高性能 ・レーザ波長ラインナップ:赤(655nm)/青(450nm)/緑(520nm)/赤外(852nm) ・初期校正不要 ・KC/CE/FCC/FDA対応 【用途】 ・半導体ウエハ反り測定 ・省スペース実装、装置組込み ・光学部品の角度調整 ・ARコート付き光学素子の角度測定など
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基本情報
測定レンジ[±度]1.75 再現性[秒] (Ave.)1 直線性[%](Ave.)±0.2~0.4 of F.S. 測定波長[nm]450±10~852±10 出射ビーム径[φmm]1 対象物測定距離[mm] ±0.50度:0~300 ±1.00度:0~200 ±1.75度:0~120 (測定レンジにより異なります)) レーザ出力0.39mW以下(クラス1) 重量[kg]0.14(ACアダプタ含まず) 適合チルトステージHB10 ※測定にはHPU-1000とH410が必要です。 ※波長とビーム径を標準品の中からお選びいただけます。
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
~ 1週間
用途/実績例
<カメラ業界>光学素子の傾きアライメント <半導体>ウエハ反り測定 <レーザ加工>光路折り曲げミラー角度監視
企業情報
駿河精機は創業以来50年にわたり、光学機器市場で競争力の高い製品を供給し続けています。 急速に発展するスマートフォン・タブレットなどのモバイル機器や、 半導体製造、光通信、精密電子部品分野など、幅広い業界において 駿河精機のテクノロジーが欠かせない存在となっています。 近年では、コアテクノロジーをさらに発展させたアプリケーションシステムで、 ヨーロッパ・アメリカ・アジア諸国など、海外市場にも進出しています。











