微小振動測定用 高感度加速度センサー NP7320N10

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基本情報

超高感度・低ノイズ設計により、精密機器の性能に影響を与える「微小な床振動」を高精度に可視化します。 【主な特長】 ■ 微小振動を高精度に検出 100mV/m/s²の高出力により、一般的なセンサーでは埋もれてしまう微細な振動も高いS/N比で明瞭に捉えます。 ■ 設定ミスを防ぐTEDS内蔵 センサー情報を自動認識し、多点計測時の入力ミスを防止。セットアップ時間の短縮にも貢献します。 ■ アンプ内蔵（CCLD方式）で簡単接続・高耐ノイズ 同軸ケーブル1本で計測器に直接接続可能。長距離配線でも安定した測定が行えます。 ■ 軽量かつ高耐久のチタンハウジング 対象物への影響を抑える軽量設計と、耐食性・堅牢性を両立。 ■ 低周波から安定した測定性能 低域からの平坦な特性により、構造物のゆれや低周波振動も精度よく検出します。 ■ 幅広い用途に対応 サイトサーベイ、除振台の評価、建物の微振動測定に加え、電子顕微鏡や半導体露光装置など高い静振性が求められる環境診断に最適です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

10万円 ~ 50万円

納期

用途／実績例

■ 半導体製造工場：露光装置の設置環境調査（サイトサーベイ） 新工場建設時や装置増設時の床振動測定に採用。 100mV/m/s²の高感度特性により、装置の歩留まりに影響を与える微小な環境振動を正確に把握し、最適な設置ポイントの選定に貢献しました。 ■ 精密測定室：電子顕微鏡の除振性能評価 外部からの振動を遮断する「除振台」の性能確認に導入。 TEDS機能による多点同時計測の効率化により、床面と台上の振動比較測定を短時間でミスなく完了。 ナノレベルの計測環境維持をサポートしています。 ■ 研究所・クリーンルーム：建築構造物の微振動モニタリング 交通振動や空調機器が建物に与える影響を長期間計測。 低域から安定した周波数特性を持つため、構造物特有の低周波振動もノイズに埋もれることなく捉えることが可能です。 ■ 産業機械：超精密加工機の稼働診断 加工精度に直結する微振動の変化を常時監視。 アンプ内蔵（CCLD）方式による長距離配線でも、外来ノイズを抑えた安定したデータ収集を実現しています。