マクロ検査のパイオニア！ナノレベルの斑（ムラ）や凹凸を可視化します
製造業の品質管理においては、製品の信頼性を確保するために、製造工程における微細な欠陥や異常を早期に発見することが重要です。特に、半導体、液晶、NILなどの分野では、製品の性能に直結する微細なムラや凹凸の検出が不可欠です。これらの欠陥を見逃すと、製品の不良や性能低下につながり、コスト増につながる可能性があります。スミックス株式会社の光学検査装置は、CDとの相関が高いマクロ検査により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・パターン均一性評価 ・高感度な膜厚均一性評価 ・凹凸・傷欠陥検査 【導入の効果】 ・検査工程の効率化 ・高感度な検査による品質向上 ・コスト競争力の強化
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基本情報
【特長】 ・散乱光を利用したマクロ検査に特化した独自光学系を採用 ・CDとの相関が高いマクロ検査が可能 ・パターン均一性評価 ・高感度な膜厚均一性評価 ・凹凸・傷欠陥検査 【当社の強み】 ・マクロ光学検査を専門とする光学検査モジュールの開発・製造・販売及びカスタマイズ ・光学検査装置開発技術コンサルティング
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企業情報
スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。CDとの相関が高いマクロ検査や、3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えること、鏡面のウェハーの凸凹を可視化などが可能です。当社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。マクロ光学検査のことなら当社にお任せ下さい。
