半導体製造のウェハー搬送を、協働ロボットアーム搭載AGVで効率化
半導体製造業界では、微細化・高集積化が進むウェハーの取り扱いにおいて、高い精度と安全性が求められます。特に、クリーンルーム内での搬送や、デリケートなウェハーへのダメージを防ぐための繊細な操作は、製造プロセスの歩留まりに直結する重要な課題です。人手不足の解消や、生産性向上のためには、これらの課題に対応できる自動搬送ソリューションが不可欠となります。 協働ロボットアーム搭載型AGV「ΣoneRobo」は、これらの課題に対し、柔軟かつ高精度な搬送ソリューションを提供いたします。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内でのウェハー搬送 ・製造ライン間の自動搬送 ・検査装置へのウェハー供給・排出 ・レイアウト変更への柔軟な対応 【導入の効果】 ・ウェハー搬送の自動化による生産性向上 ・人手不足の解消と作業員の負担軽減 ・デリケートなウェハーへのダメージリスク低減 ・製造プロセスの安定化と品質向上 ・工場レイアウト変更への迅速な対応
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基本情報
【特長】 ・独自の振動抑制機構（アウトリガー）による安定搬送 ・協働ロボットアームによる高精度なピッキング・配置 ・ステレオカメラによる周囲環境の認識と安全な走行 ・工場レイアウト変更や生産ライン最適化への柔軟な対応 ・無軌道型AGVによる自由な移動経路 【当社の強み】 マーブルは、CAD/CAM製品開発で培った図形処理技術を基盤に、一般的なソフトハウスでは対応が難しい高度な問題解決策をご提案いたします。お客様独自のシステム開発や、多様なニーズに応えるソリューションを展開し、『モノづくり』を支えるDXソリューションを提供しております。システムインテグレーション、コンサルティング、クラウドサービス開発、ITインフラ構築、各種ソフトウェア・ハードウェア開発など、幅広い事業領域でお客様の課題解決をサポートいたします。
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マーブル エンベデッドプロダクト事業本部 プロダクト事業部は、『モノづくり』を支えるDXソリューションをご提供しております。 CAD/CAM製品開発で蓄積された図面処理技術を活用したお客様独自のシステム開発や多様なニーズに対応するソフト群とともにお客様のニーズに応えるソリューションを展開しております。 CADSUPERシリーズのCAD製品及びCAM商品の一層の機能強化とともに新分野の市場をターゲットとした製品も続々と投入してまいります。
