ウェハー加熱プロセスに求められる精密な温度管理を実現するヒーティングケーブル。
半導体製造業界では、ウェハーの精密な加熱プロセスにおいて、安定した温度制御が製品の品質に直結します。特に、微細な回路を形成する工程では、わずかな温度変動が歩留まりに影響を与える可能性があります。そのため、信頼性の高い加熱ソリューションが不可欠です。 【レイケム】高温度用電力制御ヒータケーブル VPLシリーズは、このような半導体製造におけるウェハー加熱のニーズに応えるために設計された電力制御ヒーティングケーブルです。 【活用シーン】 ○ウェハー製造プロセスにおける加熱 ○精密な温度管理が求められる装置への適用 ○高温環境下での安定した性能維持 【導入の効果】 ○ウェハー加熱プロセスの安定化 ○製品品質の向上と歩留まり改善 ○信頼性の高い温度制御による生産効率の維持
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基本情報
【特長】 ○235℃までのプロセス温度保持に対応し、スチームパージや電源OFF時には260℃までの高温に耐える設計です。 ○現場での長さ調整や端末処理が可能な並列ヒーティングケーブル構造を採用しています。 ○温度上昇に伴い出力が低下し、オーバーラップも可能なため、低スタートアップ電流と高温での高出力を両立します。 ○金属表面への適用に適しており、水、有機物、無機物、腐食性物質に対する耐性があります。 ○100VACおよび200VACの仕様が用意されており、多様な電源環境に対応可能です。 【当社の強み】 当社は電気ヒータのエンジニアリング会社として、Raychem自己制御ヒータの取り扱いからスタートし、石油化学、食品工場、発電業界など、厳しい温度制御が求められる分野で豊富な実績を積んでまいりました。自己制御ヒータに加え、より高温対応の電力制限ヒータ、MIヒータ、シーズヒータも取り扱っており、お客様の多様なニーズに応じた最適なソリューションを提供いたします。製造現場での省エネ化やエネルギーコストの安定化に貢献するため、電気ヒーティングの導入を推進しています。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○高温度用電力制御ヒーティングケーブルとして。 ●詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
当社は電気ヒータのエンジニアリング会社です。 Raychem自己制御ヒータを水道管の凍結防止用途としての取り扱いからスタートしました。 その後技術の蓄積を重ね、石油化学分野、食品工場分野、 発電業界等の厳しい温度制御が求められる分野への、 配管及びタンクへのプロセス保温等のプロジェクトの設計から施工まで数多く手掛けております。 最高保持温度が１５０℃である自己制御電気ヒータにとどまらず より高温対応の電力制限ヒータ、MIヒータ、シーズヒータも取り扱っております。 現在、製造現場でのプロセス保温の主流はスチームや温水であり、 大量の化石燃料が使用されていますが、環境問題や不安定なエネルギーコストに対応するため、電気ヒーティングに着目する製造現場の方々が増加しております。
