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【半導体製造向け】AI外観検査システム RoxyAI

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最終更新日:2026年07月03日

三共精機株式会社 本社
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ウェーハ検査の自動化を、簡単操作と短時間学習で実現

半導体製造業界、特にウェーハ検査においては、微細な欠陥を高精度かつ迅速に検出することが、製品の品質と歩留まりに直結します。 わずかな異物やパターン欠陥の見落としは、後工程での重大な問題を引き起こす可能性があります。 そのため、熟練したオペレーターによる目視検査の負担軽減と、検査精度の安定化が求められています。 RoxyAIは、専門知識がなくても簡単にAIモデルを作成でき、少量データから短時間で高精度な検査を実現するため、ウェーハ検査の自動化と効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ表面の異物検出 ・パターン欠陥の検出 ・ウェーハの個数カウント ・ウェーハのサイズチェック 【導入の効果】 ・検査精度の向上と安定化 ・検査時間の短縮による生産性向上 ・目視検査担当者の負担軽減 ・人的ミスの削減

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【半導体製造向け】AI外観検査システム RoxyAI

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基本情報

【特長】 ・マウス操作で不良箇所をクリックするだけの簡単なアノテーションでAIモデルを作成可能 ・少量データでも短時間で学習でき、効率よく高精度なAI検査を実現 ・カメラやPLC、ロボットと標準連携し、既存設備にそのまま接続可能 ・ノーコードで多様な検査システムを構築可能 ・AIモデル作成から現場検査まで一貫して対応

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用途/実績例

本製品の活用事例や導入効果については、アーカイブウェビナーをご覧ください。 ▶ アーカイブウェビナー視聴はこちら URL:https://sandx.seminarone.com/O6CfDeiU5USHU3u7wbhRLg/event ※内容は上部にあるアーカイブウェビナーと同様です。

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