半導体製造プロセスでのひずみ・変形防止に最適なソフトタッチワークサポート
『ソフトタッチワークサポート』は、半導体製造プロセス向けワークサポートです。 設備・装置の下支えを行うことで、加工や搬送中のワークのひずみ・変形を防止します。 独自のソフトタッチ機構により、ワーク接触時の力を極限まで抑えつつ、接触後は強力に保持します。 ステンレス鋼の採用や低発塵グリスの使用により、クリーン環境にも適したコンパクトかつ薄型の設計を実現しました。 【特徴】 ●ワークへ究極のソフトタッチ(接触力を極限まで抑制) ●設備・装置の下支えによるひずみ・変形防止 ●ステンレス鋼採用や低発塵グリス使用のクリーン対応設計 【用途・事例】 ●半導体製造プロセスにおけるワークのたわみ防止 ●精密装置内の限られたスペースでの安定保持 ●薄型ワークの搬送および加工時の姿勢維持
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