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【半導体業界向け】構造体の剛性設計ポイント

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最終更新日:2026年07月28日

日之出水道機器(ヒノデホールディングス)株式会社 先端技術開発ソリューション事業部産業機械マーケティング
日之出水道機器(ヒノデホールディングス)株式会社 先端技術開発ソリューション事業部産業機械マーケティング
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精度を左右する「剛性」をどう確保するか。断面設計から材質選定、支持方法まで、位置決め精度を高めるための考え方を公開。

ナノメートル単位の精度が求められる半導体製造装置において、設計者を悩ませるのが構造体の「剛性不足」です。 構造体の剛性が足りないと、稼働時の重心移動等により装置全体の揺れが発生し、装置のタクトタイム悪化や歩留まり低下に直結します。 本質的な原因は、断面設計や材質、支持方法の不整合にあります。単に部材を厚くするだけでは重量増による慣性の影響を受け、逆効果になることも少なくありません。 解決策として有効なのが、ヒノデの解析技術とトポロジー最適化です。 ■ヒノデの剛性最適化ご提案ステップ  1)現状分析:構造案の剛性解析により、ウィークポイントを究明  2)条件設定:負荷荷重条件・拘束条件・空間制約条件・質量/変位の目標値を設定  3)トポロジー解析:条件設定に応じた最大剛性の構造を計算  4)鋳造解析:量産性を考慮したリモデリング  5)確認解析:最適化構造の性能をシミュレーション  6)試作検証:実機評価による性能評価 ヒノデグループは、構造設計と材料特性の組み合わせで貴社の装置パフォーマンスを最大化いたします。 開発段階からぜひご相談ください。

    その他機械要素
サムネ29.jpg

【半導体業界向け】構造体の剛性設計ポイント

サムネ29.jpg
サムネ29.jpg
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基本情報

ヒノデグループは、『材料・構造の最適化による性能向上』と『多様な材質・プロセスの一貫生産体制』により、お客様のものづくり課題を、開発段階から量産までワンストップで解決いたします。 【このようなお困りごとを解決します】 ●装置の「振動低減」「熱変化低減」「高剛性化」「軽量化」をお考えの方  ・独自材料と構造解析/トポロジー最適化で鋳物メーカーならではの解決策をご提案。  ・開発期間を短縮する3Dプリンタや試作検査体制も充実。 ●鋳物部品の発注手間やリードタイムでお困りの方  ・鋳鉄・鋳鋼・アルミ・特殊材など、多様な材質・製造プロセス・ロットにご対応。  ・型製作、試作から鋳造・加工・組立・輸配送までワンストップでご対応。 ●鋳物の安定供給をお考えの方  ・創業100年のマンホール鉄蓋トップシェアメーカーの実績。  ・工作機械、産業用ロボット、自動車、半導体製造装置などの産業機械分野で   350社以上のお客様との実績あり。  ・多品種小ロットから数千個単位の大ロットまで幅広く対応可能なグループ体制。  ・国内外400社以上の協力企業体制でどんな材質・サイズにもご対応。

価格帯

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用途/実績例

半導体製造装置・電子部品製造装置(架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等) 工作機械(鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム) 産業用ロボット(ベース、ケーシング、アーム) 輸送用機器・建設機械(エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品) 造船・舶用機器(シーブ、ケーシング)

企業情報

日之出水道機器(ヒノデホールディングス)株式会社

日之出水道機器(ヒノデホールディングス)株式会社 先端技術開発ソリューション事業部産業機械マーケティング

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ヒノデホールディングスは、鋳鉄・鋳鋼・アルミ鋳物・加工・物流の専門家が集結した鋳造プロフェッショナル集団です。 「装置部品の軽量化・振動抑制」「精密加工」「サプライヤー管理・発注業務の煩雑さ」など、設計・開発から生産・調達における課題を、グループの総合力で解決します。 装置の開発段階からから量産機のVA/VEまで、ヒノデにお任せください。 ■ 対象業種 半導体製造装置・電子部品製造装置(架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等) 工作機械(鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム) 産業用ロボット(ベース、ケーシング、アーム) 輸送用機器・建設機械(エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品) 造船・舶用機器(シーブ、ケーシング) ■ 対象工程・部品 工程: 材質開発・選定、構造設計、試作、量産、加工、組立、品質管理、グローバル調達・国内外輸配送 材質: 鋳鉄(FC/FCD)、アルミ鋳物、鋳鋼、ステンレス鋳鋼 、低熱膨張材、耐熱鋳鋼、耐摩耗材、ミネラルキャスティング、他

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