二次元から三次元へ 半導体の性能を大きく左右する3次元実装技術
◇微細化の限界を突破する3次元実装技術 第1章 三次元積層技術の展望と課題 第2章 設計技術 第3章 TSV(シリコン貫通電極) 第4章 接合技術 第5章 インターポーザー 第6章 アプリケーション 第7章 関連材料 第8章 信頼性
ISBN:978-4-86043-988-0
◇微細化の限界を突破する3次元実装技術 第1章 三次元積層技術の展望と課題 第2章 設計技術 第3章 TSV(シリコン貫通電極) 第4章 接合技術 第5章 インターポーザー 第6章 アプリケーション 第7章 関連材料 第8章 信頼性
