負荷トルクの変化に対応し、安定した回転を実現
半導体製造業界、特にウェハ搬送においては、精密かつ安定した動作が求められます。 搬送中に発生する負荷トルクの変動は、ウェハの位置ずれや破損につながるリスクを伴います。 これらの課題に対し、トルクモータは、負荷トルクの変化に追従して回転数を変化させることで、安定した搬送を実現し、製造プロセスの信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェハ搬送装置の駆動 ・精密な位置決めが必要な搬送ライン ・振動や衝撃を抑えたい搬送システム 【導入の効果】 ・ウェハ搬送時の安定性向上 ・搬送エラーの低減 ・製造プロセスの歩留まり向上
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基本情報
【特長】 ・負荷トルクの変化に対応して回転数が変化します。 ・入力電圧の調整により、トルクまたは回転数を広範囲に変化させることが可能です。 ・始動トルクが大きく始動電流が少ないため、低速での大きなトルクが必要な用途に適しています。 ・構造が比較的簡単で、使いやすく保守点検の費用を抑えられます。 ・容量は0.1Nm～100Nm（極数：2P,4P,6P,8P,12P）で、オプションも豊富です。 【当社の強み】 当社は、半導体分野をはじめとする様々な産業分野で、お客様のニーズに合わせたシステムインテグレーションの提案を行ってまいりました。 産業用電機品、ロボット、制御装置、FAシステムなどの販売実績を持ち、自動化システムの総合メーカーとして、お客様に最適なソリューションをオーダーメイドで提供いたします。
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企業情報
私たちはこれまで、製紙・パルプ・自動車・自動車部品・半導体・液晶・スマホ等、時代の流れに 敏感に対応しながら、お客様に最適なシステムインテグレーションの提案を行いたいとの思いを 持ち挑み続けてきました。 今後はこの考え方を継承しつつ、人々の生活に必要不可欠な「食品・医薬品・化粧品」の「三品業界」 にも積極参入を進めます。 また、半導体や高機能液晶といった成長が見込まれる分野では装置メーカーとして精密アライメント 露光装置・検査装置やプロセス製造装置の開発と製品作りにも積極的に関わっていきます。
