純度4N以上の高純度炭化ケイ素基板と純度6N以上のグラファイト基板を使用！
当社は、サプライヤ中国ORANGE社の公式代理店として、 「ウェハーエピ成長装置向けサセプター等精密治具」を 取り扱っております。 SiCエピタキシャルウェハ成長用SiC基板の保持に使用される 「6インチサセプター」は、チャンバー内にてウェハと直接接触し、 パワーデバイスに用いられます。 また、「予熱リング」は、Siエピタキシャル基板トレイの外周リング に配置され、基準校正および加熱に使用。垂直式sicエピタキシャル 設備に使われる「バルクSiCリング」もございます。 【ORANGE社の強み】 ■高純度セラミック基板 ■高精度の機械加工保証 ■高品質コーティング ■厳格な洗浄プロセス ■より競争力のあるコスト優位性 ■カスタマイズされたソリューション ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ラインアップ】 ■6インチサセプター ■予熱リング ■バルクSiCリング ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【主な最終市場】 ■EV ■民生用電子機器 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社アイシービジョンジャパンは、半導体製造工程向け 消耗品および治具・パーツ類の輸出入販売を手掛ける企業です。 海外の優れた半導体製造用部材を厳選し、日本の製造現場へ 好適な形でお届け。 現場の課題に寄り添い、品質・納期・価格のすべてにおいて、 ものづくりを支える確かなパートナーであり続けます。
