発熱体から発塵しないので、クリーンルームでの使用に最適です
DGHシリーズは発熱体も熱電対も石英ガラスのカプセルに密封されています。 そのため発熱体や熱電対は加熱気体と直接接することはないので、これらから発生する酸化物などの塵が加熱気体に混入しません。 外径は小型ですが、通過気体を約550℃まで加熱できます。 発熱体から発塵しないので、クリーンルームでの使用に最適です。 φ13の金属管ケースに 100w～150wの発熱体を組込みました。 気体流量が7～15ℓ/min.必要なときにご採用下さい。 吐出口の熱電対を使用して、正確な温度制御を行うことができます。 先端に内ネジを切っているので、色々な金具を取り付けることが出来ます。 安全衛生対策で、過昇温防止の為に発熱体温度を監視できます。
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基本情報
φ13の金属管ケースに 100w～150wの発熱体を組込みました。 詳細は下記のサイトでご確認ください https://www.heat-tech.biz/products-nh/nh-ss/nph-gj-gz/866.html
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用途／実績例
プリント基板の予熱 シリコンウェハーの乾燥 シリコンウェハーの計測システムの熱源 シリコンウェハーの窒素乾燥
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企業情報
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