発熱体から発塵しないので、クリーンルームでの使用に最適です。
DGHシリーズは発熱体も熱電対も石英ガラスのカプセルに密封されています。 そのため発熱体や熱電対は加熱気体と直接接することはないので、これらから発生する酸化物などの塵が加熱気体に混入しません。 外径は小型ですが、通過気体を約550℃まで加熱できます。 発熱体から発塵しないので、クリーンルームでの使用に最適です。 φ101.6の金属管ケースに 6本の発熱体を組込みました。 管径が大きいので、圧力損失が少なくなます。 気体流量が800ℓ/min.必要なときにご採用下さい。 吐出口の熱電対を使用して、正確な温度制御を行うことができます。 先端に内ネジを切っているので、色々な金具を取り付けることが出来ます。 DGH-140X6は、端子箱を取り付ける事ができます。 安全衛生対策で、過昇温防止の為に発熱体温度を監視できます。
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基本情報
φ101.6の金属管ケースに 6本の発熱体を組込みました。 詳細は下記のサイトでご確認ください https://www.heat-tech.biz/products-nh/nh-ss/nph-gj-gz/871.html
価格帯
納期
用途／実績例
プリント基板の予熱 シリコンウェハーの乾燥 シリコンウェハーの計測システムの熱源 シリコンウェハーの窒素乾燥
詳細情報
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シリコンウェハーの乾燥 問題点 従来の方法では乾燥空気の中に金属イオンが含まれるので困っていた。 ⇒改善のポイント 熱風ヒーターのクリーンルーム仕様で加熱・乾燥した。 硝子コーティングされたヒーターなので、金属イオンの含有量が減った。
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シリコンウェハーの計測システムの熱源 問題点 シリコンウェハーを簡単に加熱できる良い方法が無くて困っていた。 ⇒改善のポイント 熱風ヒーターで高温窒素ガスを注入し、天面温度を400℃にした。 真空にしなくてもウェハーの測定が可能になった。
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シリコンウェハーの窒素乾燥 問題点 自然乾燥すると水滴の跡が残り気になっていた。 ⇒改善のポイント 熱風ヒーターで窒素を加熱して乾燥した。 水滴の跡が無くなり、酸化も無いので品位が向上した。
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企業情報
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