想像力が形になる、シリコンカーバイドの新たな可能性
半導体製造装置の分野では、高温環境下での安定した性能を発揮する部品が求められます。特に、精密なプロセスにおいては、高い耐熱性と寸法安定性が不可欠です。従来の製造方法では、複雑な形状や大型部品の一体成形に制約がありましたが、当社の3DプリンティングSiCは、これらの課題を解決します。 シリコンカーバイド『IntrinSiC（R）』は、シリコン浸透・反応結合シリコンカーバイド（RBSiC）で作成される大型で複雑な一体型構成部材の生産に向けた優れたイノベーションです。RBSiCの優れた材料特性と３Dプリンティングによるプロセス特有の利点を合わせることで、リングラフィや計測、そして熱処理技術の市場に新たな構造デザインの可能性を提供します。 【活用シーン】 ■ 高温プロセスチャンバー部品 ■ 真空搬送装置部品 ■ 精密計測機器部品 【導入の効果】 ■ 部品点数の削減による組み立て工数低減 ■ 複雑形状による性能向上 ■ 高い耐熱性による装置の長寿命化
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基本情報
【特長】 ■ 大型で複雑な一体型構造も1つの製造工程で成形可能 ■ 研削や研磨、そしてラップ仕上げによって高度な表面仕上げを実現 ■ 接触・非接触測定法で既存製品のリバースエンジニアリングを実現 ■ データの評価とデジタル化が可能 【当社の強み】 当社は、カーボンとセラミックスのソリューションに関する開発、製造、応用に焦点を当て、先進性と技術的専門知識にハイレベルのお客様サービスを組み合わせ、製品/サービスを提供しております。大量生産または高度に専門化したニッチ市場のいずれにおいても、国際企業が持つあらゆる技術的可能性を提供し、お客様のニーズに適合したアイデアを実現します。グループには環境試験部門 Weiss Technik、超音波溶着部門のSono Systems をもち、材料工学と機械工学において10部門で事業を展開しています。
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当社は、カーボンとセラミックスのソリューションに関する開発、製造、 応用に焦点を当て、先進性と技術的専門知識にハイレベルのお客様サービスを組み合わせ、製品/サービスを提供しております。 大量生産または高度に専門化したニッチ市場のいずれにおいても、国際企業が 持つあらゆる技術的可能性を提供し、お客様のニーズに適合したアイデアを 実現します。 グループには環境試験部門 Weiss Technik、超音波溶着部門のSono Systems をもち、材料工学と機械工学において10部門で事業を展開しています。
