先端パッケージの大型パネル化に伴う熱処理課題の解決に貢献！
当資料では、510×515mmの大型パネルに対応し、低酸素・クリーン 環境下で高精度な熱処理を実現する低酸素クリーンオーブン「SCO」について、 ご紹介しております。 同機の構造を支える主要な技術要素について、それぞれの機能的意義と 構造的工夫に着目して解説。 構造図や各種データも掲載しておりますので、ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■PLP(パネルレベルパッケージ)実用化に向けた大型パネル向け高精度熱処理 ■先端パッケージ分野の熱処理品質を支えるSCOシリーズの主要技術 ■独自フィルターが均一な温度分布を実現 ■磁性流体シールによる高密閉性の実現 ■熱伸び対策によるパーティクル抑制 ■槽外水冷却機構による高温時の安全性向上 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
エスペックの環境創造技術はあらゆる地球環境の再現を可能とします。 この技術によって、私たちの暮らしを支えるさまざまな製品や技術、サービスの安全性、信頼性が確認されています。 机の置けるコンパクトサイズから大型製品用の恒温恒湿器、電子部品の信頼性をテストする冷熱衝撃装置をはじめ各種製品を取り揃えています。 当社ではお客様の試験計画の提案に始まり、試験器の選定と提供、環境試験の受託試験と分析・評価も行っています。さらに、製品のメンテナンスはもちろんのこと、製品レンタルや中古製品の販売など、さまざまなサービス内容で環境試験の総合ソリューションを提供しています。
