温度上昇・安定・下降の各工程を通じて、酸素濃度を数ppmレベルで安定的に保持！
当社で取り扱う半導体パッケージ向け低酸素クリーンオーブン 『SCOシリーズ』について、ご紹介いたします。 冷却水の流路を槽外に配置することで、槽内に水を貯留しない独自の 構造を採用。極めて高い安全性を確保したうえで、設置スペース・ システム電気容量を従来比で50％低減(自社装置比)。 先端パッケージ製造プロセスの様々な熱処理工程で要求される温度制御・ 低酸素濃度・高クリーン度をいずれも業界最高レベルで満たします。 【特長】 ■515×510mm大型パネル対応 ■最大500℃の高精度熱処理 ■低酸素濃度制御10ppm以下を実現 ■クリーン度クラス4を安定維持 ■自動扉やGEM通信への対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【その他の特長】 ■温度上昇・下降時においても最大クリーン度クラス4 を維持可能(オプション) ■温度上昇・安定・下降の各工程を通じて、酸素濃度を数ppm レベルで安定的に保持 さらにマスフローコントローラを用いて高精度な酸素制御を実現(オプション) ■高性能な温度・酸素濃度制御システムにより、ステップごとに温度・時間・濃度の設定が可能 (酸素濃度コントロール機能はオプション) ■高度な密封技術により、使用ガスの消費量を最小限に抑制 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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エスペックの環境創造技術はあらゆる地球環境の再現を可能とします。 この技術によって、私たちの暮らしを支えるさまざまな製品や技術、サービスの安全性、信頼性が確認されています。 机の置けるコンパクトサイズから大型製品用の恒温恒湿器、電子部品の信頼性をテストする冷熱衝撃装置をはじめ各種製品を取り揃えています。 当社ではお客様の試験計画の提案に始まり、試験器の選定と提供、環境試験の受託試験と分析・評価も行っています。さらに、製品のメンテナンスはもちろんのこと、製品レンタルや中古製品の販売など、さまざまなサービス内容で環境試験の総合ソリューションを提供しています。
