自動気相分解(VPD)、液体ハンドリング、ICP-MSによる直接測定を、1台のファブ対応プラットフォームに統合！
『WSMS Integra HT』は、超微量レベルの汚染をインラインで信頼性高く、 完全自動で検出するために設計されたウェーハ表面測定システムです。 1台のファブ対応プラットフォームで、シリコンウェーハ表面の金属汚染を 超微量レベルで検出・定量。 気相分解(Vapour Phase Decomposition, VPD)と誘導結合プラズマ 質量分析(ICP-MS)を組み合わせた、完全自動・インラインのシステムです。 【特長】 ■完全自動化されたVPDプロセス ■モジュール式でスケーラブルなプラットフォーム ■高スループット・アーキテクチャ ■監査対応の検証済み結果 ■ワイドバンドギャップ対応 ■認証済みでファブ導入可能 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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PVA Japan合同会社では、世界中の主要産業分野における進歩を推進する先進のシステムと計測ソリューションを提供しています。 半導体から航空宇宙技術まで、幅広い産業分野において、先端材料の製造、精製、検査のための 革新的なシステムを開発・製造しています。 また、材料や部品の音響、化学、光学検査・分析のための高度なソリューションも提供。 当社の製品と技術のポートフォリオは、効率的で信頼性が高く、拡張性に優れた高品質な生産を可能にします。
