大面積を短時間で検査測定！複雑な形状も正確に測定可能な超高速センサー。
『ハンダフィレット3次元測定装置』は、色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、高速な測定を実現する装置です。 センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視でき、複雑な形状でも正確に測定できます。測定ワークを選ばず鏡面でも測定可能で、大面積を短時間で検査測定できます。卓上機から全自動型インラインにも容易に対応し、設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選択可能です。 【特長】 ■色収差共焦点原理を用いた高精度超高速センサー搭載 ■シャドーイングを無視でき複雑な形状も正確に測定 ■鏡面ワークの測定に対応 ■短時間でのレンズ交換が可能 ■卓上機から全自動型インラインまで対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■構成一例：電動X・Yステージ、手動Zステージ、サンプル保持用冶具、光学系取付架台、測定及び制御用パソコン、専用対物レンズ群、モーターコントロールボード、LCDディスプレイ ■測定速度(1秒あたりのライン数)：6,000(HS) ■ライン長：0.96mm～8.3mm(レンズ交換) ■測定範囲(Z方向)：200μm～3,900μm(レンズ交換) ■スポットサイズ：2μm～172μm(レンズ交換) ■センサー数：192個 ■Z方向分解能：20nm～320nm(レンズ交換) ■側面分解能：1μm～5μm(レンズ交換) ■重量：約4kg(センサー部) ■大きさ：391×100×114mm(センサー部) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途・実績例】 ■大面積の検査測定 ■鏡面測定 ■複雑な形状の測定 ■卓上機での測定 ■全自動型インラインでの測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。
